Кафедра микро- и наноэлектроники (МНЭл)
ЗАВЕДУЮЩИЙ КАФЕДРОЙ
Литвинов Владимир Георгиевич — доктор физико-математических наук, доцент
Аудитория: ауд. 343 / а. 40, 44
Контактная информация: тел. городской (4912) 72-03-66, тел. внутренние 19-83, 19- 01, адрес эл. почты: Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
| Фамилия, имя, отчество | Ученая степень | Должность |
|---|---|---|
|
Доктор физ.-мат. наук |
Заведующий кафедрой, доцент |
|
|
Канд. техн. наук |
Доцент |
|
|
Канд. физ.-мат. наук |
Доцент |
|
|
Канд. техн. наук |
Доцент |
|
|
Канд. физ.-мат. наук |
Старший научный сотрудник |
|
|
Канд. физ.-мат. наук |
Доцент |
|
|
Канд. физ.-мат. наук |
Доцент |
|
|
Канд. техн. наук |
Доцент |
|
|
Канд. физ.-мат. наук |
Заместитель зав. каф., доцент |
|
|
Канд. физ.-мат. наук |
Доцент |
|
|
Канд. физ.-мат. наук |
Доцент |
|
|
Канд. физ.-мат. наук |
Старший научный сотрудник |
|
|
Аспирант |
- |
|
|
Доктор физ.-мат. наук |
Профессор |
|
|
Аспирант |
Специалист по экспл. оборуд. 1-й кат., техник кафедры |
|
|
- |
Специалист по экспл. оборуд. 1-й кат. |
|
|
- |
Ведущий специалист по образовательному процессу |
На кафедре «Микро- и наноэлектроника» сотрудниками и аспирантами за последние несколько лет были подготовлены кандидатские и докторская диссертации:
| № | ФИО | Специальность | Дата защиты диссертации/ученая степень |
|---|---|---|---|
| 1 | Кусакин Дмитрий Сергеевич | 01.04.10 Физика полупроводников | 19.09.2017/к.ф.-м.н. |
| 2 | Воробьев Юрий Владимирович | 01.04.10 Физика полупроводников | 13.03.2018/к.ф.-м.н. |
| 3 | Толкач Никита Михайлович | 01.04.10 Физика полупроводников | 27.06.2019/к.ф.-м.н. |
| 4 | Литвинов Владимир Георгиевич | 01.04.10 Физика полупроводников | 02.07.2020/д.ф.-м.н. |
| 5 | Семенов Андрей Романович | 01.04.10 Физика полупроводников | 06.10.2020/к.ф.-м.н. |
| 6 | Маслов Алексей Дмитриевич | 01.04.10 Физика полупроводников | 01.12.2020/к.ф.-м.н. |
| 7 | Логинов Денис Сергеевич | 1.3.2. Приборы и методы экспериментальной физики | 12.03.2024/к.т.н. |
О кафедре МНЭл
Становление и развитие кафедры МНЭЛ начинается с ноября 1952 года - дня открытия радиотехнического института и организации кафедры технологии металлов, правопреемницами которой стали кафедра технологии металлов и материалов радиоэлектроники, кафедра полупроводников и диэлектриков (ПиД), затем кафедра микроэлектроники (МЭЛ), кафедра биомедицинской и полупроводниковой электроники (БМПЭ), и, наконец, кафедра микро- и наноэлектроники (МНЭЛ).
Кафедра микро- и наноэлектроники ведет подготовку бакалавров по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», магистров по направлению 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (руководитель основной профессиональной образовательной программы Литвинов Владимир Георгиевич).
На кафедре проводится подготовка аспирантов по направлению подготовки: 03.06.01 «Физика и астрономия» по основной профессиональной образовательной программе подготовки кадров высшей квалификации.
На кафедре имеются учебные лаборатории электрофизических исследований полупроводниковых приборов, физики полупроводниковых приборов и микроэлектроники, МДП-структур, тонких пленок, технологий и материалов, работает компьютерный класс, обеспеченный современными ПЭВМ. В течение нескольких лет кафедра МНЭЛ стабильно занимает первое место и призовые места в университетском рейтинге кафедр, лидируя по показателям учебной, научной, методической и студенческой научной работы. Научное направление «Пути повышения стабильности и развитие методов диагностики полупроводниковых элементов, микро- и наносистем» более 20-ти лет развивалось заслуженным деятелем науки РФ, профессором С.П. Вихровым, профессорами Ю.Г. Садофьевым и Т.А. Холоминой. Работа данного направления связана с изучением наноструктур неупорядоченных систем, аморфного и нанокристаллического кремния, диагностикой нанообъектов. Сформировавшаяся в конце 60-х годов 20 века научная школа "Неупорядоченные полупроводники и их применение" является одной из ведущих в стране.
При кафедре МНЭЛ создан и успешно работает региональный центр зондовой микроскопии коллективного пользования, оснащенный самой современной аналитической аппаратурой. Сотрудниками по этой тематике опубликовано свыше 450 научных работ, получено более 20 авторских свидетельств и патентов на изобретение. Результаты научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ внедрены в производство.
Другая научная школа в области микро- и наноэлектроники - "Влияние глубоких уровней на стабильность и надежность интегральных микросхем" была сформирована в начале 70-х годов 20 века под руководством Заслуженного деятеля науки и техники, доктора технических наук, профессора Орешкина Павла Тимофеевича. Орешкиным П.Т. была создана новая теория релаксационной спектроскопии глубоких центров, на базе которой разработан оригинальный спектрометр резонансной релаксационной электроскопии глубоких уровней. Измерительные комплексы, изготовленные по заказу ряда предприятий Москвы и Санкт-Петербурга, переданы заказчикам для внедрения в технологические процессы.
На базе научно-исследовательского технологического института г. Рязани была создана отраслевая лаборатория физики и технологии тонких пленок. Значительные теоретические и экспериментальные результаты, имеющие широкую практическую реализацию, достигнуты в области изучения релаксационных явлений в электретах.
С 1994 до 2013 года на кафедре развивалось научное направление «Биомедицинская техника», связанное с разработкой биомедицинского оборудования, возглавляет доктор технических наук технических наук, профессор Анатолий Александрович Михеев. В 2015 г. подготовлена и успешно защищена диссертация к.т.н, доцентом Мельник О.В. на соискание ученой степени доктора технических наук. Диссертация посвящена разработке комплексной диагностикии заболеваний сердечно-сосудистой системы. Исследования проводятся на стыке естественных и технических наук, таких как медицина, биология, приборостроение, электроника, вычислительная техника, микро- и нанотехнологии. Проводились работы по созданию компьютерных средств для диагностики состояния сердечно-сосудистой и нервной систем, исследования в области беспроводной передачи биомедицинской информации.
Под руководством профессора В.Н. Локтюхина проводилась разработка и исследование применения нейросетевых технологий в проектировании интеллектуальных датчиков и преобразователей для получения и преобразования частотно-временных параметров биосигналов с их реализацией на современной микропроцессорной элементной базе, включая ПЛИС.
Научный коллектив кафедры является обладателем грантов Минобразования в области фундаментальных исследований и работает в рамках программ "Интеллектуальная собственность высшей школы" и "Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники". Кафедра МНЭЛ является одним из организаторов Всероссийской научно-технической конференции студентов, аспирантов, молодых ученых и специалистов «Физика и технология аморфных и наноструктурированных материалов и систем» и школы-семинара по направлению "Диагностика наноматериалов и наноструктур".Кафедра активно взаимодействует с ведущими российскими вузами:
- МГУ им. М.В. Ломоносова (Москва);
- Санкт-Перербургский государственный электро-технический университет «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург);
- ННГУ им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород);
- НИУ «МЭИ» (Москва);
- Калужский филиал МГТУ имени Н.Э. Баумана (Калуга);
- ФТИ имени А.Ф. Иоффе РАН (Санкт-Петербург);
научными центрами:
- научно-технический центр тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ имени А.Ф. Иоффе РАН (Санкт-Петербург);
- Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН (Москва).
и предприятиями:
- НТ-МДТ Спектрум Инструментс (Москва);
- завод ООО «Хевел» (Санкт-Петербург);
- Акционерное общество «Научно-исследовательский институт газоразрядных приборов «ПЛАЗМА» (Рязань);
- ПАО завод «Красное знамя» (Рязань);
- АО «Рязанский завод металлокерамических приборов» (Рязань);
- АО «Государственный Рязанский приборный завод»;
- ООО «СОЛЭКС-Р» (Рязань).
На базе кафедры МНЭЛ расположены Региональный центр зондовой микроскопии коллективного пользования, ряд лабораторий для проведения аналитических исследований в области электрофизических измерений, химического микроанализа веществ, электронной, атомно-силовой, туннельной и ближнепольной микроскопии, оптической и рамановской спектрометрии.
Учебный приборный парк кафедры представлен лабораторными установками для проведения лабораторных, практических и научно-исследовательских работ в области электроники, схемотехники, полупроводниковых приборов, нанотехнологии, диагностики микро- и наноструктур, материаловедения.
Кафедра МНЭЛ