Начальной датой истории радиотехнического университета является 28 декабря 1951 года, когда И.В. Сталин подписал Постановление Совета министров СССР №5389-2346, предписывающее «создать в 1952 году в г. Рязани радиотехнический институт по подготовке инженеров по радиотехническим, радиолокационным и электровакуумным специальностям для радиолокационной и электровакуумной промышленности». В состав нового вуза первого в СССР такого профиля были включены 3 факультета: радиотехнический, электровакуумный и приборостроительный. В январе 1956 года принято решение на основе вечернего отделения создать вечерний факультет, который открыт 1 октября 1957 года.
Самыми молодыми являются инженерно-экономический и гуманитарный факультеты, открытые соответственно 25 июня 1993 года и 25 января 1996 года.
В 1993 году институт получил статус Рязанской государственной радиотехнической академии, а в 2006 году – Рязанского государственного радиотехнического университета.
Факультет конструирования радиоаппаратуры, в состав которого входили выпускающие кафедры: биомедицинской и полупроводниковой электроники (БМПЭ), конструирования и производства радиоаппаратуры (КПРА), технологии радиоэлектронной аппаратуры (ТРЭА) и кафедра начертательной геометрии и черчения (НГЧ), вёл подготовку по четырём специальностям: биотехнические и медицинские аппараты и системы - 200401, микроэлектроника и твердотельная электроника - 210104, стандартизация и сертификация - 200503, проектирование и технология радиоэлектронных средств - 210201. Общий прием студентов на первый курс факультета составлял 140 человек. В 2005 году ФКР был реорганизован и выпускающие кафедры присоединили к разным факультетам. Наша кафедра БМПЭ, в настоящее время - кафедра микро- и наноэлектроники (МНЭЛ), входит в состав факультета электроники.
Становление и развитие кафедры МНЭЛ начинается с ноября 1952 года - дня открытия радиотехнического института и организации кафедры технологии металлов, правопреемницами которой стали кафедра технологии металлов и материалов радиоэлектроники, кафедра полупроводников и диэлектриков (ПиД), затем кафедра микроэлектроники (МЭЛ), кафедра биомедицинской и полупроводниковой электроники (БМПЭ), и, наконец, кафедра микро- и наноэлектроники (МНЭЛ).
Первым заведующим кафедрой с сентября 1952 года по июль 1964 года была доцент Манжос Галина Александровна - кандидат технических наук. Кафедра являлась общетехнической и вела подготовку инженеров на всех специальностях института. В то время были организованы лаборатории по литью, механической обработке материалов, испытаниям и микроструктурному анализу преимущественно металлов. В это время на кафедре работали преподаватели: к.т.н., доцент Емелин Михаил Иванович, к.т.н., доцент Пузанчиков Анатолий Викторович, ассистенты Посохин Аркадий Иванович, Шейко Владимир Никифорович, Калгушкин Алексей Иванович, Бугров Анатолий Семенович, Иванов Алексей Георгиевич, Старченков Борис Константинович, зав. лабораториями Касаткин Алексей Дмитриевич, учебный мастер Хоровинкин Михаил Федорович, Арешкин Василий Дмитриевич, Ананьин Иван Михайлович, лаборанты Милюкова Таисия Федоровна, Першнев Владимир Александрович.
В 1961 году кафедра была переименована в кафедру технологии металлов и материалов радиоэлектроники. При активном участии старшего преподавателя Старченкова Б.К. в короткий срок была организована лаборатория материалов электронной техники, радиоэлектроники. Им же были предприняты первые попытки проведения научно-исследовательской работы по исследованию электретного эффекта в высокомолекулярных соединениях.
В связи с бурным развитием космонавтики, ракетной и вычислительной техники, полупроводниковой электроники в этот период, нехваткой в стране специалистов в области полупроводникового материаловедения и приборостроения правительством была поставлена задача подготовки инженерных кадров по этим новейшим специальностям.
Для организации специальности 0604 – «Полупроводники и диэлектрики» был приглашен в июле 1964 года из Новокузнецкого металлургического института к.т.н., доцент Орешкин Павел Тимофеевич, который возглавил кафедру, в короткое время создал коллектив единомышленников и подготовил условия для открытия выпускающей кафедры на основе существующей кафедры технологии металлов и материалов.
18 февраля 1965 года кафедра была переименована в выпускающую кафедру «Полупроводники и диэлектрики» с открытием одноименной специальности - 0604. Первый прием двух групп 554, 555 студентов в количестве 50 человек на эту специальность был проведён в июле-августе 1965 года. Конкурс при зачислении составил 4 человека на место. Нашим студентам выплачивалась повышенная стипендия в сравнении с другими специальностями (на первом курсе 45 рублей вместо 29 рублей).
В этот период под руководством зав. кафедрой Орешкина П.Т. и доцент Кочегарова В.М. на кафедре открывается аспирантура. Первыми аспирантами были выпускница педагогического института Кузнецова Лидия Александровна, выпускница Кузнецкого металлургического института Андреева Любовь Петровна, выпускник Ленинградского электротехнического института им. Ульянова (Ленина) Перелыгин Александр Иванович, выпускник Владимирского политехнического института Семенов Виталий Александрович, выпускник радиотехнического института Соколов Борис Михайлович, выпускницы Ленинградского химико-технологического института Белицкая Треверика Борисовна и Царева Альбина Васильевна.
Доцент Орешкин П.Т. защитил в 1969 году докторскую диссертацию, аспиранты Андреева Л.П. и Кузнецова Л.А. - кандидатские. В связи с широкими перспективами работ по микроэлектронике это направление в 1970 году было закрыто.
За короткий срок (1964-1976), благодаря усилиям коллектива сотрудников, кафедра стала известным в СССР учебно-научным центром по исследованиям в трех названных выше научных направлениях и подготовке инженерных кадров в области микроэлектроники. За цикл работ в области микроэлектроники профессор Орешкин П.Т. был награжден медалью министерства электронной промышленности.
В период становления кафедры с 1964 по 1988 г. кафедру возглавлял профессор Орешкин П.Т., д.т.н., участник Великой Отечественной войны, Заслуженный деятель науки и техники СССР, Почетный работник высшего и среднего специального образования, Почетный гражданин г. Рязани.
В 1988 году кафедра была преобразована в кафедру микроэлектроники (МЭл), а подготовку инженеров проводила по специальности 200200 «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы».
С 1988 по 2013 год кафедру возглавлял выпускник нашей кафедры Вихров Сергей Павлович - д.ф.-м.н., профессор, Заслуженный деятель науки РФ, Почетный работник высшего профессионального образования.
Оперативно реагируя на запросы промышленности и учреждений здравоохранения в 1994 году, кафедра открыла новую специальность 190500 «Биотехнические и медицинские аппараты и системы». В этом же году был осуществлен прием на первый курс 20 студентов - будущих инженеров - «медиков», первый выпуск которых состоялся в 1999 году. Преимущественно в организации приборостроения и медицинские центры влился поток инженеров с новыми знаниями. В этом же году при кафедре по этой специальности была открыта аспирантура, а по специальности «Физика полупроводников и диэлектриков» - докторантура.
С открытием новой специальности на кафедру были приглашены к.т.н. А.А. Михеев (ныне д.т.н.) и д.т.н. В.Н. Локтюхин, имеющие большой практический опыт разработки и внедрения информационно-измерительных и микропроцессорных систем преобразования и обработки измерительных сигналов для авиационной и космической техники (ЦАГИ им. профессора Н.Е. Жуковского, РКК «Буран-Энергия» и др.). Новизна их разработки подтверждается полученными 50 авторскими свидетельствами СССР и 7 зарубежными патентами на изобретения.
В связи с изменениями номенклатуры специальностей с 2000 года кафедра готовит инженеров по специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» (прием на первый курс 20 человек) и 200401 «Биотехнические и медицинские аппараты и системы». В 2003 г. кафедра микроэлектроники переименована в кафедру биомедицинской и полупроводниковой электроники (БМПЭ).
Всегда находясь на «гребне» последних научных достижений и понимая перспективность исследований в новом направлении - наноэлектроника и нанотехнологии - на базе кафедры БМПЭ в содружестве с кафедрой промышленной электроники (ПЭл) в составе университета приказом ректора РГРТА от 10 апреля 2003 г. создается Региональный Центр зондовой микроскопии коллективного пользования (РЦЗМкп), имеющий кроме того статус федерального Центра коллективного пользования. Основной целью деятельности Центра является повышение эффективности научно-технических работ, проводимых научно-учебными коллективами университета и промышленными предприятиями Рязанского региона, за счет использования передовых методов исследований и современного наукоемкого технического оборудования.
Директором РЦЗМкп назначен доцент, к.т.н. Вишняков Н.В.
Основными направлениями исследований Центра являются фундаментальные и прикладные научные исследования, среди которых можно выделить следующие:
- исследования топографии поверхности твердых тел с высоким разрешением;
- исследования магнитной и электрической морфологии поверхности магнитных и сегнетоэлектрических материалов электроники;
- исследования квантово-размерных структур - гетероструктур с квантовыми ямами, квантовыми точками и квантовыми нитями;
- исследование неупорядоченных систем и пленок неупорядоченных полупроводников, исследование морфологии пленок и процессов роста с позиций теории самоорганизации;
- нанолитография и другие нанотехнологические процессы, разработка и создание наноразмерных объектов микро- и наносистемной техники;
- внедрение в учебный процесс университета новейших технологий сканирующей зондовой и оптической микроскопии; научный анализ технологических процессов с позиций внедрения методов неразрушающего контроля для повышения экономической эффективности и выхода годных изделий по заказу производственных и научных предприятий.
С 2013 по 2020 год кафедру возглавляла выпускница нашей кафедры Холомина Татьяна Андреевна - д.ф.-м.н., профессор, Заслуженный работник высшей школы Российской Федерации, Почетный работник высшего профессионального образования РФ. В 2015 году кафедра была преобразована в кафедру микро- и наноэлектроники (МНЭЛ).
С 2020 года кафедру возглавляет Литвинов Владимир Георгиевич д.ф.-м.н., доцент.
Научное направление кафедры:
«Микро- и наноэлектроника», «Пути повышения стабильности и развитие методов диагностики полупроводниковых элементов, микро- и наносистем»
Научные центры, действующие на базе кафедры:
1. Региональный Центр зондовой микроскопии коллективного пользования (РЦЗМкп РГРТУ) (2003 г., директор ЦКП: Вишняков Н.В., к.т.н., доцент).
2. Научно-образовательный центр неупорядоченных и наноструктурированных материалов и устройств на их основе (НОЦ ННМУ) (2008 г., директор НОЦ: д.ф.-м.н., доцент Литвинов В.Г.).